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真空机器人用固体润滑角接触球轴

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日本精工针对从事FPD等面板搬运的真空机器人用途,开发出了在超高真空环境下耐久性更高的角接触球轴承“真空机器人用固体润滑角接触球轴承”。此次通过重新开发保持架的机械装置,成功实现了角接触球轴承的固体润滑。由此,不仅提高了耐久性,还可满足日益大型化的真空机器人负荷容量增加的要求。耐久性达到以往固体润滑轴承的5倍。

作为固体润滑剂,采用了二硫化钨类烧结合金,其脱气量(从材料释放出的分子的量,Outgas)仅为以往真空用润滑脂的1/5~1/10以下。可在温度为100℃(固体润滑剂为350℃)、压力最大为10-6Pa的超高真空环境下使用。

在新的机械装置中,衬套可相对于滚珠及滚动面进行滑动。另外,通过将油兜配置在接触角(滚珠受力的作用线方向)位置,提高了轴承润滑的效率。